一、產(chǎn)品概述
IK20PCD雙閥壓力控制器集成兩個電磁閥，進氣閥將過程氣體引入腔體，保持密閉空間的壓力，壓力過高時，泄壓閥自行打開進行泄壓，快速精準(zhǔn)地控制壓力的穩(wěn)定，同時避免氣體浪費。
IK20PCD標(biāo)配一個壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、快速穩(wěn)定、可靠的壓力控制，該PC數(shù)字板具有控制壓力所需的所有功能。除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號，IK20PCD還提供模擬量輸入/出信號，可通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個工藝過程。同時，可觸控顯示屏使操作更加便捷。 IK20PCD雙閥壓力控制器可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥，具有超快和平穩(wěn)控制的特性。我們有不同系列的控制閥對應(yīng)特定的應(yīng)用領(lǐng)域。常規(guī)應(yīng)用使用標(biāo)準(zhǔn)的直接操控閥，高流速應(yīng)用使用先導(dǎo)閥，穩(wěn)壓和泄壓應(yīng)用雙閥。
二、產(chǎn)品應(yīng)用
應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體生產(chǎn)、科研實驗、生物醫(yī)藥、能源化工、泄漏測試、燃料電池、真空鍍膜及過程控制等。
三、產(chǎn)品參數(shù)
| 技術(shù)參數(shù) | 精度(包括線性和滯后性) | ±0.5%F.S |
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| 壓力控制器 | 1:20 |
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| 重復(fù)性 | ≤0.1% |
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| 傳感器響應(yīng)時間 | 0.2s |
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| 控制穩(wěn)定性 | ≤±0.05%F.S(測定條件：1 L/min N2) |
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| 運行溫度 | -10~+70℃ |
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| 溫度敏感性 | 0.1%FS/℃ |
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| 漏率 | 1×10-9 SCCS He |
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方位影響度
（90°變化） | ＜0.03 KPa（絕壓/表壓傳感器） |
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| ＜0.6 KPa（差壓傳感器） |
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| 預(yù)熱時間 | 忽略不計 |
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| 機械部件 | 材質(zhì) | 不銹鋼 |
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| 工藝連接 | G3/8" |
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| 密封材質(zhì) | 氟橡膠/丁腈橡膠/氯丁橡膠/其他 |
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| 防護等級（外殼） | IP40 |
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| 電氣特性 | 電源 | 15~24Vdc |
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| 數(shù)字輸出 | RS485/RS232 |
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| 電氣連接 | DB9 |
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四、產(chǎn)品尺寸圖
五、可選配套測控軟件 （另外收取費用）
質(zhì)量流量測控系統(tǒng)V5.0
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